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薄膜材料的尺寸范围、结构以及其服役环境的特殊性，制约了薄膜失效行为、寿命预测及可靠性评估技术研究的开展。对薄膜疲劳寿命的预测方法进行综述，分析常用的单向循环加载法和悬臂梁弯曲法。详细介绍纳米级动态载荷法，包括连续刚度法和纳米冲击试验法，此法能够对实际服役环境更好地模拟，可以实现分相测试以及多种功能模块的原位定点检测，以及定量分析薄膜的疲劳性能。对薄膜疲劳损伤失效机制与寿命预测模型的研究进行探讨与展望，发现薄膜材料失效过程的研究与定量分析是今后研究的重点。