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用等离子体浸没离子注入与沉积（PIIID）复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射（XRD）和x射线光电子能谱（XPS）表征；膜层表面的原子力显微镜（AFM）形貌显示出TiN膜结晶完整，结构致密均匀。XRD测试结果表明，TiN在（200）晶面衍射峰最强，具有择优取向。Ti（2p）的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出，Ti（2p1／2）峰和Ti2p3/2峰均有双峰出现，表明氮化物中的Ti至少存在不同的化学状态；N（1s）的XPS谱峰