【摘 要】
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彩色滤光膜在液晶显示(LCD)和有机发光显示(OLED)结构中都起到非常重要的作用.显示技术不同,彩色滤光膜的功能也不同.彩色滤光膜的制作基本采用曝光技术,随着显示技术的演进,
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司,上海仪电显示材料有限公司,上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室
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彩色滤光膜在液晶显示(LCD)和有机发光显示(OLED)结构中都起到非常重要的作用.显示技术不同,彩色滤光膜的功能也不同.彩色滤光膜的制作基本采用曝光技术,随着显示技术的演进,使得彩色滤光膜的制作对曝光性能需求不断变化,业界采用接近式和投影式曝光两种设备结合的工艺制程,来满足不同分辨率和套刻精度的滤光膜制作.
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