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分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析.
飞秒激光加工过程中光学参数对加工的影响
【摘 要】
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分析了国际上飞秒激光同材料相互作用的实验研究,介绍了飞秒激光加工过程中,各个光参数对加工质量和加工尺寸的影响,针对光参数在飞秒激光加工过程中产生的影响做出了分析.
【机 构】
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北京工业大学,北京工业大学
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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北京市自然科学基金
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