【摘 要】
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在采用柴式（Czochralski,CZ）法生长重掺砷（As）单晶硅的过程中,掺杂剂——As具有较强的蒸发性。为了有效抑制As蒸发对单晶硅电阻率的影响,需要测定As的蒸发速率常数。通过实验测量
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在采用柴式（Czochralski,CZ）法生长重掺砷（As）单晶硅的过程中,掺杂剂——As具有较强的蒸发性。为了有效抑制As蒸发对单晶硅电阻率的影响,需要测定As的蒸发速率常数。通过实验测量给出了晶体样块中As浓度随蒸发时间的变化曲线,然后对实验曲线进行了线性回归分析,得到了重掺As单晶硅制备中As的蒸发速率常数（1.43×10^-4cm/s）。该结果在实际应用中被验证是正确而有效的,这对精确控制重掺As单晶硅的电阻率有着重要意义。
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