蒸发速率常数相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

蒸发速率常数相关论文

重掺砷单晶硅制备中砷的蒸发速率常数的测定

在采用柴式（Czochralski,CZ）法生长重掺砷（As）单晶硅的过程中,掺杂剂——As具有较强的蒸发性。为了有效抑制As蒸发对单晶硅电阻率的影......

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重掺As单晶硅蒸发速率常数线性回归分析有效分凝系数

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