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利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器。该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm。
微机械可调谐滤波器的研制
【摘 要】
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利用GaAs/AlGaAs分布反馈Bragg反射镜在GaAs衬底上制作了一个微机械的调谐滤波器。该器件在7V调谐电压下调谐范围达28nm。
【机 构】
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北京邮电大学,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2003年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金 (批准号 :90 10 40 0 3 ,60 13 70 2 0 ) ,,国家高技术研究发展计划 ( No.2 0 0 2 AA3 12 2 9Z),,国家重点基础研究发展规划 ( No.G2 0 0 0 0 3 660 3 )资助项目~~
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