层流流量计非常适合于纯净气体微小流量测量,但是常规层流流量测量方法为了保证较好的流量-差压线性关系,其毛细管需要很长,导致层流流量计存在压损大的问题。提出一种差分式层流流量传感技术,该技术中层流流量传感器包括两段长度不同的毛细管组,工作时,分别测量两段毛细管组两端的差压,并取两个差压之差,即差压差分值,用于流量计算。通过差压差分,毛细管进出口局部损失和层流起始段流动损失等非线性压降被抵消掉,差压差分值与流量之间具有理想的线性关系。介绍了差分式层流流量传感技术原理,分析了传感元件中沿流道的压降特性,设计了模型传感器并进行了实验测试。实验结果表明,在(0.016～2.500)m~3/h的流量测试范围内,差分式层流流量传感器流量测量误差在±1%以内,证明了这一新型层流流量传感方法的正确性。