硅压阻式压力传感器温度性能的改善

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硅压阻式压力传感器产品分为提供温度补偿与不提供温度补偿两种.本文从使用者的角度针对国产桥路封闭式GYC型传感器提出几种改善温度性能的方法,可以使传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数方便地达到10~(-5)/℃数量级.这些方法同样适用于不提供温度补偿、桥路不封闭的其他型号传感器. Silicon piezoresistive pressure sensor products are divided into temperature compensation and temperature compensation are not provided.This paper from the user point of view for the domestic bridge closed GYC-type sensors to improve the temperature performance of several ways to make the sensor zero Temperature Coefficient and Sensitivity Temperature Coefficient Easily reach the order of 10 ~ (-5) / ℃ These methods are also applicable to other models that do not provide temperature compensation and bridge is not closed.
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