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与体硅材料和器件比较，ＳＯＩ具有许多独特的优越性，例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩销效应等，因而被称为二十一世纪的微电子技术而引起你们越来越多的关注。ＳＯＩ技术正走向商业应用阶段，特别是应用于高性能、低功耗ＣＭＯＳ电路，抗辐照器件和高温电子器件等。本文综述了ＳＯＩ材料和器件的最新进展。
SOI——二十一世纪的微电子技术
【摘 要】
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与体硅材料和器件比较，ＳＯＩ具有许多独特的优越性，例如高开关速度、高密度、抗辐照、无闩销效应等，因而被称为二十一世纪的微电子技术而引起你们越来越多的关注。ＳＯＩ技术正走向商业应用
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国有重点实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1999年1期
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