【摘 要】
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首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的＂台阶区＂,提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD（共振隧穿二极管）的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国家重点实验室
【基金项目】
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中国博士后科学基金项目（2011M500544）, 重点实验室基金项目（9140C12041008,9140C120402110C1201）, 国家自然科学基金项目（61171056）
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首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的＂台阶区＂,提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD（共振隧穿二极管）的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同时也通过增大RTD结构的台面积大小,有效的消除了负阻区的＂台阶区＂,并使其负阻区的阻值增大为-0.06Ω,提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度。
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