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结合复杂结构MEMS版图绘制中的曲面构型，对L—Edit、Covenr、AumCAD多软件联合MEMS版图绘制方法进行了研究。通过设计图形多格式转换的整合重构，完成了角构型曲面结构版图的设计，满足了直接进行工艺仿真的要求，提高了MEMS器件的设计水平和产品研发效率。
MEMS版图绘制方法的研究
【摘 要】
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结合复杂结构MEMS版图绘制中的曲面构型，对L—Edit、Covenr、AumCAD多软件联合MEMS版图绘制方法进行了研究。通过设计图形多格式转换的整合重构，完成了角构型曲面结构版图的设
【机 构】
：
北方通用电子集团有限公司微电子部
【出 处】
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集成电路通讯
【发表日期】
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2013年3期
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