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<正> 一、引言在真空镀膜中基板的清洁处理是直接影响薄膜质量的关键之一。实验表明,轰击处理能大大提高薄膜与基板的结合力。例如,不经轰击而镀制的单层ZnS膜往往在水中浸几分钟就会漂浮脱落,而轰击后五分钟内蒸镀的同一膜层可在水中经久不脱。功率较大的轰击甚至能去除基板表面的手指印。
真空镀膜设备中离子轰击装置的改进
【摘 要】
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<正> 一、引言在真空镀膜中基板的清洁处理是直接影响薄膜质量的关键之一。实验表明,轰击处理能大大提高薄膜与基板的结合力。例如,不经轰击而镀制的单层ZnS膜往往在水中浸几
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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1981年05期
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