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采用恒电流电共沉积技术，以SnO2导电玻璃为基片制备了GaAs薄膜。通过观察实验过程和对比各次实验结果，研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象。采用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射（XRD）仪测试表明，沉积膜为GaAs多晶薄膜，加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌，提高了沉积膜的厚度，降低了各次实验数值分散性，而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1：1。选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现。