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本文简要分析了微电子加速度计的工作原理，建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型，采用有限元分析软件AN—SYS8．0对其进行模态分析、瞬态响应分析以及静电一结构耦合分析，考虑不同设计尺寸条件下器件的灵敏度特性，在瞬时激励下的位移和应力响应情况，并分析了静电力对器件性能的影响。
悬臂梁式微电子加速度计有限元建模与动力学分析
【摘 要】
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本文简要分析了微电子加速度计的工作原理，建立了悬臂梁式微电子加速度计的实体模型，采用有限元分析软件AN—SYS8．0对其进行模态分析、瞬态响应分析以及静电一结构耦合分析，考虑
【机 构】
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黑龙江省生态与农业气象中心,哈尔滨理工大学应用科学学院
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2013年3期
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