【摘 要】
：
为了检验 Pcrkin—Flmer 公司的具有自动对准和自动放大校正功能的500型全视场掩模投影光刻机的性能,我们用各种尺寸的片子对其进行了不同的测验。其模拟测试也是尽可能采用
论文部分内容阅读
为了检验 Pcrkin—Flmer 公司的具有自动对准和自动放大校正功能的500型全视场掩模投影光刻机的性能,我们用各种尺寸的片子对其进行了不同的测验。其模拟测试也是尽可能采用接近 NMOS 片子工艺的方法。其结果证明在5英寸的片子上该光刻机完全可以获得优于±0.25微米(2σ)的全视场对准精度。
To test the performance of Pcrkin-Flmer’s Model 500 Full-Field Mask Projection Lithography with automatic alignment and automatic magnification correction, we tested it differently with films of various sizes. Its analog test is also used as close as possible to the NMOS chip process. The results demonstrate that the lithography machine can achieve full field alignment better than ± 0.25 microns (2σ) on a 5-inch film.
其他文献
Purpose: To report 7 patients with paradoxical use of the frontalis muscle des pite postsurgical correction of ptosis with good postoperative eyelid position. S
心得第一,给班群起一个好名字。第二,不强求每个家长加入群。第三,所有家长一律实名,统一格式。第四,明确要求家长不要在群里发任何培训班、卖东西等内容的广告链接,也不要转
张虹，杭州市启正中学。中学语文高级教师，浙江省“春蚕奖”获得者、浙江省级名师培养对象、杭州市优秀教师、杭州市学科带头人。曾多次获得过全国、省级优秀作文辅导教师、优秀园丁等称号。出版专著《初中语文整合教学研究》。 通常我们写作无论是写人叙事，还是写景抒情，首先要建立在言之有序、言之有理的基础之上，因此思路清晰是一篇好文章的前提。当我们确立表达的中心，当片段的材料已经准备就绪时，那么就非常有必要将它
几何证明题的复习是个难点，如何进行复习才能有效呢？下面结合我自己的一些做法，提出一些思路，仅供参考。有不妥之处，还请同行们批评指正。
2005年暑期,《马达加斯加》一片风靡了美国和全球,缔造五亿美元的全球票房成绩,成为该年度票房最好的喜剧片。动物们又一次冒险之旅狮子阿历克斯、斑马马蒂、河马歌利娅、长
由中国戏剧家协会主办、《中国戏剧年鉴》杂志社承办的纪念改革开放三十年戏剧优秀剧目研讨会,于2008年11月14日—15日在北京举行,中国文联党组副书记、副主席李牧,中国剧协
最近,偶像派女演员林依晨获得了中国台湾金钟奖“视后”称号,从而有幸成为改写历史的第一人——金钟奖首次把最佳女演员颁给偶像剧里的偶像派女演员。作为台湾偶像剧的一姐级
对于与跨国汽车合资的国内几大汽车企业来说,自主品牌更为重要;面对依靠与国际汽车设计公司合作开发产品的国内汽车企业来说,自主开发能力更为重要
For multinational auto
本文介绍的定时器,定时时间从1分钟到9999分钟。以1分钟为定时单位,可定一万个不同时间,定时时间由七段荧光显示器显示。定时器还可逆时钟走时,即减法计数。具有定时精确、
近日,在国家环保总局的网站上,悄然挂出了一则“关于征求国家污染物排放标准《重型车用汽油发动机与汽车排气污染物排放限值及测量方法(中国Ⅲ、Ⅳ阶段)(征求意见稿)》意见的