【摘 要】
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碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管
【机 构】
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北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京大学深圳研究生院,
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碳纳米管因其独特而优异的电学、力学、热学、化学及电子特性等在很多领域上展现应用的潜力,而近年来碳纳米管在压力传感器方面的应用成为研究热点之一。本文综述了碳纳米管压力传感器的基本原理以及研究进展,并对不同类型的碳纳米管压力传感器进行了比较。
Carbon nanotubes have potential applications in many fields due to their unique and excellent electrical, mechanical, thermal, chemical and electronic properties. In recent years, the application of carbon nanotubes in pressure sensors has become one of the hot topics. This paper reviews the basic principle and research progress of carbon nanotube pressure sensor, and compares different types of carbon nanotube pressure sensor.
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