【摘 要】
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随着触控技术在电子显示领域的应用,传统透明导电氧化物ITO的需求量逐年提高。由于铟储量有限、价格昂贵,且属重金属元素,环境友好度低,而同样属于透明导电氧化物的AZO,也具
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（2013AA030602）
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随着触控技术在电子显示领域的应用,传统透明导电氧化物ITO的需求量逐年提高。由于铟储量有限、价格昂贵,且属重金属元素,环境友好度低,而同样属于透明导电氧化物的AZO,也具有优异的光电性能,且资源丰富、价格低廉,无污染。作为ITO的一种替代材料,正在成为研究的热点。本文主要探讨与制备高透过率和低电阻率的AZO。
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