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本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂，用核磁氢谱确认了产物结构，并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率．结果表明，合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350-450nm和深紫外区（DUV，248nm）都有很好的吸收，在420nm波段曝光下，（5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺）-苯乙腈（P-2）产酸率最高，可达0．96；（5-对甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺）-苯乙腈（P-1）在365nm和420nm两个波段下，均有较高的产酸率．利用实时红外（RT-IR）研究了相同浓度下4种光产酸