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多晶/单晶界面参数对发射区渡越时间影响的解析模型
多晶/单晶界面参数对发射区渡越时间影响的解析模型
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:license63
【摘 要】
:
在考虑了多晶/单晶之间界面氧化层的基础上,本文提出了一个新的晶硅发射区双极晶体管发射区渡越时间的解析模型,用推广导出的标志电荷存储机理的S因子详细分子发射区渡越时间与多
【作 者】
:
马平西
张利春
【机 构】
:
北京大学微电子研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
界面参数
发射区
渡越时间
多晶硅
单晶硅
硅
Interfaces (materials)
Mathematical models
Semiconductin
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在考虑了多晶/单晶之间界面氧化层的基础上,本文提出了一个新的晶硅发射区双极晶体管发射区渡越时间的解析模型,用推广导出的标志电荷存储机理的S因子详细分子发射区渡越时间与多晶/单晶界面参数之间的关系。
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