【摘 要】
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采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层，然后在其上以阴极电弧＋磁控溅射＋阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石（DLC）膜层，分别用扫描电镜、显微硬度计
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采用阴极电弧离子镀技术沉积了厚度为16μm左右的CrN膜层，然后在其上以阴极电弧＋磁控溅射＋阳极层离子源复合技术沉积了厚度约3μm的类金刚石（DLC）膜层，分别用扫描电镜、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验仪分析和测试了CrN、DLC、CrN／DLC等3种膜层的表面和截面形貌，厚度，显微硬度，结合力以及耐磨损性能。结果表明，采用上述方法制备的CrN／DLC复合膜具有良好的综合性能，膜层界面明晰、结构致密，膜基结合力大于60N，显微硬度达到2200～2600HV，磨损率为1．8×10^-16m^3／
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