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基于微模塑法的PMMA/SiO_2透射光栅的制备

来源 :安徽师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：redsouler

【摘 要】

：

以sol-gel法合成出的PMMA/SiO2杂化溶胶为加工对象,以聚二甲基硅氧烷为弹性印章,采用软刻蚀技术中的微模塑方法,在普通光学玻璃表面制备出了PMMA/SiO2杂化材料栅格状的微图形

【作 者】

：

刘建平 杨小敏 赵永刚 王雪芳 胡林 

【机 构】

：

华东交通大学化学系

【出 处】

：

安徽师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2009年6期

【关键词】

：

软刻蚀 微模塑 杂化材料 透射光栅 soft lithography micromolding hybrid materials transmission gr 

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以sol-gel法合成出的PMMA/SiO2杂化溶胶为加工对象,以聚二甲基硅氧烷为弹性印章,采用软刻蚀技术中的微模塑方法,在普通光学玻璃表面制备出了PMMA/SiO2杂化材料栅格状的微图形结构.扫描电子显微镜（SEM）、光学显微镜和扫描探针显微镜（SPM）的测试结果表明：所制得的光栅微结构清晰规整;以氦氖激光器（632.8nm）为光源,通过衍射实验,得到了清晰的光栅衍射图案.

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