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期刊论文
红外透明导电金属网栅薄膜
红外透明导电金属网栅薄膜
来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asd710601
【摘 要】
:
介绍了一种既高效透过红外光 ,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响。介绍了利用光刻和镀膜技术 ,在红外
【作 者】
:
高劲松
孙连春
郑宣明
朱世栋
赵晶丽
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
:
光学技术
【发表日期】
:
2001年06期
【关键词】
:
光刻
镀膜
金属网栅
电磁屏蔽
红外
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介绍了一种既高效透过红外光 ,同时又能有效屏蔽电磁干扰的金属网栅薄膜的基本原理和制备工艺。分析了网栅参数对其光学及电磁性能的影响。介绍了利用光刻和镀膜技术 ,在红外基片上制作线条宽度小于 10 μm ,周期约 35 0 μm的金属网栅。
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