【摘 要】
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制作出三维电路器件是半导体技术工作者梦寐以求的。因本器件可以构成立体器件,若与以往器件的构造相比,对要求超高密度化,超高性能化来说,可寄予很大的希望的。但是,直到目
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制作出三维电路器件是半导体技术工作者梦寐以求的。因本器件可以构成立体器件,若与以往器件的构造相比,对要求超高密度化,超高性能化来说,可寄予很大的希望的。但是,直到目前,越是抱有出成果的希望,越会因看不到实现而不安。松下电器消除了这种担心。在世界上首次开发成功的
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