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倒装焊芯片封装中的非接触检测技术
倒装焊芯片封装中的非接触检测技术
来源 :机械与电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:whr791154777
【摘 要】
:
介绍了倒装焊芯片生产工艺及其质量控制中所需检测的项目,并分类综述了其中所涉及的光学检测、X射线检测、声学检测等几种非接触检测方法的基本原理和步骤,这些方法对于微纳
【作 者】
:
王立成
丁汉
熊有伦
【机 构】
:
华中科技大学
【出 处】
:
机械与电子
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
倒装焊芯片
封装工艺
缺陷
非接触检测
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介绍了倒装焊芯片生产工艺及其质量控制中所需检测的项目,并分类综述了其中所涉及的光学检测、X射线检测、声学检测等几种非接触检测方法的基本原理和步骤,这些方法对于微纳米制造中微结构性能测试和缺陷检测具有同样重要的意义.
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