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综述了电子器件生产中广泛采用的几种表面技术,评价了其优缺点,并对表面技术在电子薄膜中的研究与应用作了简要概述,提出表面技术在电子工业中的发展方向与前景.
表面技术在电子器件生产中的应用
【摘 要】
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综述了电子器件生产中广泛采用的几种表面技术,评价了其优缺点,并对表面技术在电子薄膜中的研究与应用作了简要概述,提出表面技术在电子工业中的发展方向与前景.
【机 构】
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广东工业大学材料与能源学院
【出 处】
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广东工业大学学报
【发表日期】
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2001年3期
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