玻璃微纳阵列高效超精密模压 制造基础研究

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光学微纳阵列是指一定数量微纳尺度的透镜或棱镜的排列组合,因其特殊的几何特征,而具有多种光学功能,在红外、可见光、紫外(UV)/极紫外(EUV)乃至X射线波段对光波的物理特性进行调控和利用,实现传统光学元器件难以完成的任意波面变换的光学功能,是在现代光学工程中重要的光学元器件.光学微纳阵列制造是利用一定工艺方法在光学材料表面上加工出特征尺寸在纳米/微米级的形状单元,并按照一定规律排列分布,具有形状可控、表面质量高和一致性好等特点.玻璃微纳阵列模压制造是指在高温下施加一定的压力将模具表面的微纳阵列形状复制到受热软化的玻璃表面上,经退火冷却固化,在光学玻璃材料表面加工出微纳阵列.该方法具有成形精度高、效率高、一致性好和加工成本低等特点,适合大批量生产制造,被认为是光学微纳阵列制造有效方法之一,具有重要的研究与应用价值.
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