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Ni_80Fe_20/Al_2O_3/Ni_80Fe_20磁隧道结电磁特性研究
Ni_80Fe_20/Al_2O_3/Ni_80Fe_20磁隧道结电磁特性研究
来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:homemoons
【摘 要】
:
采用磁控溅射技术制备了Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20磁性多层膜隧道结样品,并使样品在不同的温度下退火,研究了不同退火条件对样品隧道结磁电阻效应的影响.结果表明,磁电阻值随退火温
【作 者】
:
翁兆平
王义杰
李燕飞
【机 构】
:
哈尔滨理工大学应用科学学院
【出 处】
:
哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
磁控溅射技术
磁隧道结
退火
磁电阻效应
膜结构
magnetic tunnel junction tunnel magnetoresistance magne
【基金项目】
:
黑龙江省自然科学基金资助(F01-21)
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采用磁控溅射技术制备了Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20磁性多层膜隧道结样品,并使样品在不同的温度下退火,研究了不同退火条件对样品隧道结磁电阻效应的影响.结果表明,磁电阻值随退火温度发生变化,并在230℃左右达到最大.为提高磁隧道结磁电阻性能提供了新的尝试.
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