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归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念,例如分辨率、焦深等,详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差别,进行了针对性的辨析。从物理光学层次了解和掌握光刻机曝光的机理。
光刻机曝光光学中的概念辨析
【摘 要】
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归纳解释了光刻机曝光光学中的若干重要概念,例如分辨率、焦深等,详细地阐述了光刻机曝光的原理。考虑到类似概念在不同系统中的含义差别,进行了针对性的辨析。从物理光学层
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2003年02期
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