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对生产多晶硅的主要生产方法进行了比较,指出改良西门子法、流化床法、冶金法这3种工艺的优点和不足。重点介绍了多晶硅主流生产方法改良西门子法,阐述了改良西门子法生产多晶硅还原过程的反应机理、数值模拟等,并对该工艺目前的研究进展进行了阐述。
改良西门子法制备多晶硅还原过程研究进展
【摘 要】
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对生产多晶硅的主要生产方法进行了比较,指出改良西门子法、流化床法、冶金法这3种工艺的优点和不足。重点介绍了多晶硅主流生产方法改良西门子法,阐述了改良西门子法生产多
【机 构】
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昆明理工大学省部共建复杂有色金属资源清洁利用国家重点实验室; 昆明理工大学冶金与能源学院; 昆明冶金研究院;
【出 处】
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现代化工
【发表日期】
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2018年05期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(21566015);云南省应用基础研究项目(2015FB126)
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