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基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器，设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路，详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明：研制的传感器线性误差小于0．37％，迟滞误差小于0．3％，电容温度系数低于97×10^-6／℃。
基于厚膜技术的双电容陶瓷压力传感器
【摘 要】
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基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器，设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路，详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2006年7期
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