BST类铁电薄膜低温外延层状生长研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：play5

【摘要】

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利用激光分子束外延技术(LMBE)在SrTiO3(100)单晶基片上外延生长SrTiO3(STO)、BaTiO3(BTO)、Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜.通过反射高能电子衍射(RHEED)实时监测薄膜生长, 并

【作者】

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李金隆李言荣张鹰邓新武刘兴钊

【机构】

：

电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

BST 铁电薄膜低温外延生长 BST ferroelectric thin films low temperature epitaxial growth

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利用激光分子束外延技术(LMBE)在SrTiO3(100)单晶基片上外延生长SrTiO3(STO)、BaTiO3(BTO)、Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜.通过反射高能电子衍射(RHEED)实时监测薄膜生长, 并结合原子力显微镜(AFM)分析薄膜的生长模式,根据RHEED衍射强度振荡曲线及衍射图样的变化确定动态和静态控制最低晶化温度, 发现STO、BTO、BST三种铁电薄膜可以分别在280、330、340℃的低温下实现外延层状生长.

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