【摘 要】
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X光电子分光镜（XPS）分析被用来界定和比较未接触铝表面、氧接触铝表面和氟接触铝表面的气体扩散器。未接触和氧接触样品铝表面会形成Al2O3，另一边，氟接触表面倾向生成氢氧化氟铝
【机 构】
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X光电子分光镜（XPS）分析被用来界定和比较未接触铝表面、氧接触铝表面和氟接触铝表面的气体扩散器。未接触和氧接触样品铝表面会形成Al2O3，另一边，氟接触表面倾向生成氢氧化氟铝表层。从氢氧化氟铝表层的形成看上去，像是由原有的Al2O3、氟和水蒸气共同反应产生的。扫描电镜（SEM）的显微照相则显示三种样品表面是光学相似的。
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