【摘 要】
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本文建立了ＰＳＩＩ技术中靶表面有二次电子发射的等离子体鞘层演变平板模型。在某些简化下，对随时间变化的鞘层边界位置和速度作了计算。计算表明，靶表面二次电子发射对鞘层演变影响很
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本文建立了ＰＳＩＩ技术中靶表面有二次电子发射的等离子体鞘层演变平板模型。在某些简化下，对随时间变化的鞘层边界位置和速度作了计算。计算表明，靶表面二次电子发射对鞘层演变影响很小，可忽略不计，这跟实验是相符的。
In this paper, a PSII model of plasma sheath evolution with secondary electron emission on the target surface has been established. With some simplifications, the sheath boundary position and velocity over time are calculated. Calculations show that the secondary electron emission on the target surface has little effect on the evolution of the sheath, which is negligible. This is consistent with the experiment.
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