【摘 要】
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在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战.这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多
【机 构】
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联邦物理与技术研究所,邦德卡利100号,布伦瑞克 38116德国布伦瑞克工业大学显微技术学院,阿尔特·萨尔兹达卢默街道203号, 布伦瑞克 38124, 德国;
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在许多应用中,亚毫米微小器件的表面清洗依然是一个巨大的挑战.这种挑战可能是颗粒在微观尺度上的强黏附、样品的难以处理、黏附颗粒的小尺寸和不利的几何形状等中的一种或多种.尽管如此,在器件加工、组装、包装、应用和测量之前通常是需要深度清洗的.以前对CO2雪清洗的评估几乎完全是指清洗光滑度,凹陷或凸起的表面, 通常检查的器件是晶片和光学元件. 在本文中,我们研究了微型齿轮上复杂表面形状的CO2雪清洗. 将CO2雪清洗的效果与超声波清洗和高速空气喷射清洗进行了比较.通过对清洗前后四个研究样品的光学显微镜图像的分析,评估了72次清洗实验.结果表明,CO2雪清洗方法可以清楚测试样品中超过95%的微米级污染物.相比较而言,超声波清洗只能除去88%的颗粒,高速空气喷射也仅能除去74%的颗粒.
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