【摘 要】
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根据当前物联网以及无线传感网络的需求,以MEMS技术为依托,结合压电效应,提出了一种单悬臂梁阵列式压电式能量采集器.在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上,详细介绍了
【机 构】
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中北大学仪器与电子学院、仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（51422510,51275492）,国家自然科学基金杰出青年基金资助项目（51225504）,国家高技术研究发展计划（863计划）资助项目（SQ2015AAJY1634）
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根据当前物联网以及无线传感网络的需求,以MEMS技术为依托,结合压电效应,提出了一种单悬臂梁阵列式压电式能量采集器.在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试.采用ANSYS软件仿真,得出两种微结构的谐振频率分别为3.9和4kHz;利用溶胶G凝胶法制备出15和20层的PZT 压电功能薄膜,电镜扫描其厚度分别为1849,2667nm,AFM对比表面形貌其粗糙度分别为1.8和2.11nm,后者致密更好,颗粒较小,相变温度相对比较高.
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