【摘 要】
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为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常 CMOS 器件和有工艺缺陷的 CMOS器
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十七研究所
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为使用户得到更可靠的集成电路产品，老炼是目前最常用和最有效的一种可靠性筛选试验方法。介绍了集成电路老炼的意义和试验方法，通过研究正常 CMOS 器件和有工艺缺陷的 CMOS器件的静态电源电流随老炼时间的变化曲线，经在老炼过程中多次不同时间测试得出的实验数据，可以清楚地发现器件的早期失效情况。经过分析后可以很好地反馈到器件的生产加工过程中，为集成电路的设计、加工和生产提供良好的数据依据，使集成电路加工工艺不断改善和元器件品质不断改进。指出了老炼在集成电路生产过程中的指导作用，是提高集成电路可靠性的有效手段。
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