【摘 要】
：
采用磁控溅射仪、Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集系统和光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,采集了以Cu和Al为靶材、氩气为工作气体,射频磁控溅射法沉积硅基
论文部分内容阅读
采用磁控溅射仪、Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集系统和光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,采集了以Cu和Al为靶材、氩气为工作气体,射频磁控溅射法沉积硅基薄膜时的等离子体发射光谱。以CuⅠ324.754 nm,CuⅠ327.396 nm,CuⅠ333.784 nm,CuⅠ353.039 nm,AlⅠ394.403 nm和AlⅠ396.153 nm为分析线,研究了Cu和Al等离子体发射光谱强度随溅射时间、溅射功率、靶基距和气体压强等实验参数的变化。并与射频磁控溅射沉积薄膜实验参数的选择
其他文献
为了确定超光谱成像仪热控指标和开展热设计,研究了超光谱成像仪中棱镜的热光谱特性。介绍了超光谱成像仪的工作原理以及热光谱特性的含义,分析了棱镜的环境热效应,论述了棱
本文根据某工程项目的质量管理的现状分析其存在的问题,提出相关的应对策略,进而提高本项目的工程质量。
采用共聚焦激光扫描显微镜原位分析和淬火热处理试验两种方法并结合Mivnt显微图像分析系统对双相不锈钢高温组织中的奥氏体相含量（体积分数，下同）进行了测定。两种方法所测定的
离子液体作为一种绿色介质,在电化学领域中的研究正在兴起,引起了研究者的浓厚兴趣。文章运用循环伏安法研究了离子液体（1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐,[bmim]BF4）存在时,酸性硫
提出了一种近红外光谱的频率选择方法用于玉米品种鉴别。首先确定一种衡量特征鉴别能力的准则函数,然后根据该准则函数逐步选出适合于分类的特征频率,并通过去除各频率特征之
文章分析了精品教学视频不能带来预想的效果的原因，并在对此问题进行分析研究的基础上提出了一种全新的教学理念，在实际教学中进行了验证。
在高温高压静态釜中进行了J55油套管钢的CO2腐蚀模拟试验,并对其腐蚀试样进行了磨损试验,得到腐蚀膜不同厚度的层面.用X射线衍射仪(XRD)和电子散射能谱仪(EDS)分析了膜的化学
在大学英语精读教学中利用脑图可以帮助学生对所学内容进行图式和组块的构建,从而形成新旧知识之间的链接,有利于对外语知识的理解和记忆。脑图可用于英语词汇学习、文章结构