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太阳能发电系统日益受到重视的同时,设备架设地点的安全与窃盗问题也越来越被突显。通过MEMS加速度计,除了可随时侦测位于地震带或飓风区对太阳能发电系统造成的损害外,还可进一步侦测太阳能板的倾斜角度,判断是否遭到外力搬动。由于太阳能发电的优点已得到广泛认可,因此太阳能光电（PV）面板越来越受到市场的青睐。然而，自太阳能发电问世以来，安全和保安（Safety＆Security）就一直是光电产业关注的问题。因此，在微机电系统（MEMS）技术成熟后，已有厂商将MEMS传感器应用到太阳能发电系统中，满足其安全要求。