【摘 要】
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介绍了等离子体刻蚀中的三种主要的数学模型 ,即 :物理模型、反应表面模型、神经网络模型。简要地叙述了它们的原理和优缺点。
Three main mathematical models of plasma e
【机 构】
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介绍了等离子体刻蚀中的三种主要的数学模型 ,即 :物理模型、反应表面模型、神经网络模型。简要地叙述了它们的原理和优缺点。
Three main mathematical models of plasma etching are introduced, namely: physical model, reaction surface model and neural network model. Briefly described their principles and advantages and disadvantages.
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