应变致能带分裂对Si1—xGex应变层中重掺杂禁带窄变的影响

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:you17
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针对应变Si1-xGex的应变致能带分裂及重掺杂对裂值的影响,提出了多子双带结构的等价有效简并度模型和有关算法。模型中考虑了非抛物线能带结构。应用该模型,计算了赝形生长在(100)Si衬底上的Si1-xGex应变层的重掺杂禁带窄变,发现当掺杂超过一定浓度(对于p型和n型合金,该浓度分别约为1.9×1019cm-3和3.5×1019cm-3)后,它在某一Ge组分下得到极大值,而当掺杂低于这个浓度时,它则随Ge组分的增加单调下降。文中还将计算结果与其它未细致考虑应变致能带分裂因素的理论工作
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