四元阵列MEMS矢量水听器的有限元分析

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dayongxue

【摘要】

：

运用ANSYS Workbench12.0有限元软件对一种单片四元阵列微机电系统（MEMS）矢量水听器微结构进行了有限元分析.首先介绍了四元微结构的工作原理,然后推导了四元微结构的数学模型

【作者】

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李振张丛刘涛张国军薛晨阳

【机构】

：

中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术重点实验室,北方自动控制研究所,装甲军代局驻太原地区军代室

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2013年6期

【关键词】

：

矢量水听器微机电系统(MEMS) ANSYS Workbench12.0 四元阵列 Pro/E

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运用ANSYS Workbench12.0有限元软件对一种单片四元阵列微机电系统（MEMS）矢量水听器微结构进行了有限元分析.首先介绍了四元微结构的工作原理,然后推导了四元微结构的数学模型并建立了有限元模型,最后对该微结构进行了静、动态特性分析,得到了该四元微结构的电压灵敏度为0.6 mV/Pa,维间耦合≤1.6％,固有频率为1 982.5 Hz,满足水听器设计指标.

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