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<正> 在当今光电技术日新月异发展的形势下,薄膜技术已渗透到光电子学的多种领域中。随着光纤通讯、光计算机、光信息存储与传输的迅猛发展与应用,各种新型光电薄膜器件与薄膜技术正在相辅相成地不断开拓中。光电薄膜器件的产品也以7.7％的年增长率发展着。市场对于光电薄膜器件产品的要求不仅是其光电物理特性,而且包括应用于整机系统中的可靠性、再现性和一致性。每一种光电薄膜器件的产品化都伴随着它的成套技术设备的定型。没有