【摘 要】
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射频离解烃制备了适用于５英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于５％，硬度１５．２ＧＰａ，结合力３３１ＭＰａ。无润滑下头盘摩擦系数μ≤０．２６，脉动值Δμ≤０．０５。最佳效果是在添加润
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射频离解烃制备了适用于５英寸计算机硬磁盘减摩、耐磨保护用的类金刚石碳膜。保护膜厚度不均匀性小于５％，硬度１５．２ＧＰａ，结合力３３１ＭＰａ。无润滑下头盘摩擦系数μ≤０．２６，脉动值Δμ≤０．０５。最佳效果是在添加润滑油的组合润滑下得到，μ≤０．１４，Δμ≤０．０４．电磁动态特性和读写试验表明，４０ｎｍ类金刚石碳保护盘达到实用水平。
Radio frequency dissociation of hydrocarbons prepared for 5-inch computer hard disk friction, wear-resistant diamond-like carbon film. Protective film thickness of less than 5% non-uniformity, hardness 15.2GPa, bonding 331MPa. Under the condition of non-lubrication, the friction coefficient of the first disc μ≤0.26, the ripple value Δμ≤0.05. The best effect is obtained by adding lubricant combination lubrication, μ ≤ 0.14, Δμ ≤ 0.04. Electromagnetic dynamic characteristics and read-write test shows that 40nm diamond-like carbon protection plate reached a practical level.
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