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本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合"流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工"理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备.试验表明该装备是切实可行的.
流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨
【摘 要】
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本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合"流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工"理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备.试验表明该装备是切实可行的.
【机 构】
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广东省机械研究所,广东工业大学
【出 处】
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机电工程技术
【发表日期】
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2004年12期
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