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期刊论文
晶圆表面光刻胶的涂覆与刮边工艺的研究
晶圆表面光刻胶的涂覆与刮边工艺的研究
来源 :机械管理开发 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianzhiyou258
【摘 要】
:
主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结.实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自动化生产的需求,有效提高了现场的生产效率,
【作 者】
:
金敏
王芳
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
:
机械管理开发
【发表日期】
:
2020年11期
【关键词】
:
晶圆
光刻胶
自动控制
匀胶工艺
waferphotoresistauto controlsizing process
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主要介绍了针对晶圆表层光刻胶的涂覆与刮边工艺,以及在研发过程中对生产工艺的总结.实践表明,该设备的研发成功满足了客户实现自动化生产的需求,有效提高了现场的生产效率,大大减少了人工成本,得到客户现场的一致好评.
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