用电子回旋共振等离子淀积非晶硅

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fendynx

【摘要】

：

用电子回旋共振等离子淀积非晶硅＝Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｏｆａｍｏｒｐｈｏｕｓｓｉｌｉｃｏｎｂｙａｎｅｌｅｃｔｒｏｎｃｙ－ｃｌｏｔｒｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅｐｌａｓｍａｓ［刊，英］／Ｙｏｋｏｔａ，Ｋ．…／／Ｊ．Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．－１９９３，１... Electron cyclotron resonance plasma deposition of amorphous silicon = Deposition of amorphoussiliconbyanelectroncy-clot

【出处】

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微电子学

【发表日期】

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1994年04期

【关键词】

：

非晶硅淀积电子回旋共振

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