一种光学非球面检测技术中的数据处理问题

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本文介绍一种激光束平移转动法检测光学非球面,较好地克服了以往各种检测方法的局了奶性。文中着重介绍该方法的数学模型,精度分析,非球面参数拟合及面形质量评价等数据处理问题。以计算实例说明激光束平移转动检测非球面具有通用性强,精度高,测量周期短等。
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