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300mm圆片生产线及其制造设备
300mm圆片生产线及其制造设备
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kaiserking
【摘 要】
:
介绍使用300mm圆片的优势、标准、联盟、投产、生产线及其主要制造设备。
【作 者】
:
翁寿松
【机 构】
:
中国华晶电子集团公司无锡市无线电元件四厂
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
圆片
300mm圆片
生产线
设备
半导体器件
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介绍使用300mm圆片的优势、标准、联盟、投产、生产线及其主要制造设备。
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