压电致动微喷的压力波特征分析

来源 :中国微米/纳米第六届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sannian

【摘要】

：

提出了一种压电致动的阵列微喷,以面向吸入式药物治疗应用.该阵列微喷工作在器件的谐振点上,其工作性能决定于液体腔中的压力波的分布和大小.本文针对该类微喷建立了考虑压电-固-液耦合和压力波传播效应的等效模型,并利用有限元方法对整个器件的结构振动模态和压力驻波模态进行了分析.文章对不同振动模态下,液体腔中的声压力波分布以及对微喷设计的影响进行了讨论.

【作者】

：

冯焱颖周兆英叶雄英王国辉

【机构】

：

清华大学微米纳米中心微机械实验室,北京,100084

【出处】

：

中国微米/纳米第六届学术年会

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

压力波固液耦合微机电系统压电致动阵列微喷药物治疗等效模型

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